[发明专利]一种芯片结构及其制作方法有效
申请号: | 201911391788.2 | 申请日: | 2019-12-30 |
公开(公告)号: | CN111146319B | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 王巧;刘宁炀;卢汉伦;梁锡辉;王君君 | 申请(专利权)人: | 广东省半导体产业技术研究院 |
主分类号: | H01L33/20 | 分类号: | H01L33/20;H01L33/32;H01L33/14;H01L33/00 |
代理公司: | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人: | 张欣欣 |
地址: | 510000 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本申请提供了一种芯片结构及其制作方法,涉及半导体领域。该芯片结构包括依次设置的衬底、缓冲层、n型半导体层、n型电子储蓄层,Al |
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搜索关键词: | 一种 芯片 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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