[发明专利]晶圆图的辨识方法与计算机可读取记录介质在审
| 申请号： | 201911355190.8 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112884697A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 林秋杰;乐庆莉 | 申请（专利权）人： | 力晶积成电子制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 李芳华 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种晶圆图的辨识方法，包括以下步骤：获得至少一待辨识晶圆的晶圆图；对晶圆图与对照图样进行图像处理操作，其中图像处理操作包括：对晶圆图与对照图样分别进行卷积运算，撷取卷积后的晶圆图的主要特征，并且基于卷积后的对照图样计算权重分配；以及计算处理后的晶圆图与对照图样的相似度以辨识晶圆图。本发明亦提供一种记录上述辨识方法的计算机可读取记录介质。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆图 辨识 方法 计算机 读取 记录 介质 | ||
【主权项】：
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