[发明专利]晶圆图的辨识方法与计算机可读取记录介质

权利要求书

1.一种晶圆图的辨识方法，包括：

获得至少一待辨识晶圆的一晶圆图；

对该晶圆图与一对照图样进行一图像处理操作，其中该图像处理操作包括：

对该晶圆图与该对照图样分别进行一卷积运算，撷取卷积后的该晶圆图的一主要特征，并且基于卷积后的该对照图样计算一权重分配；以及

计算处理后的该晶圆图与该对照图样的一相似度以辨识该晶圆图。

2.根据权利要求1所述的辨识方法，其中该图像处理操作还包括：

对经过卷积运算与调整后的该晶圆图进行一连通分量标记以撷取该晶圆图的主要特征，并且滤除噪声。

3.根据权利要求1所述的辨识方法，其中，基于卷积后的该对照图样计算该权重分配的步骤包括：

基于卷积后的该对照图样的一目标区域产生一缺陷区域权重分配；以及

基于卷积后的该对照图样的该目标区域外的部分产生一非缺陷区域权重分配，其中该权重分配包括该缺陷区域权重分配与该非缺陷区域权重分配。

4.根据权利要求3所述的辨识方法，其中，计算处理后的该晶圆图与该对照图样的该相似度以辨识该晶圆图的步骤包括：

决定一加权值W；以及

计算该缺陷区域权重分配中位置对应处理后的该晶圆图的失效位的一第一总和值，且该第一总和值乘上加权值W以获得一失效位相似度；

计算该非缺陷区域权重分配中位置对应处理后的该晶圆图的正常位的一第二总和值，且该第二总和值乘上(1-W)以获得一正常位相似度；以及

将该失效位相似度和该正常位相似度加总以获得该待辨识晶圆图和该对照图样的该相似度。

5.根据权利要求4所述的辨识方法，其中该加权值W为该待辨识晶圆的故障率，以及该加权值W的最大值小于1且该加权值W的最小值大于0。

6.根据权利要求4所述的辨识方法，其中计算该相似度以辨识该晶圆图的步骤包括：

当该相似度大于或等于一相似阈值时，判断该晶圆图与该对照图样相似，其中该相似阈值大于该加权值W。

7.根据权利要求1所述的辨识方法，还包括：

判断该晶圆图的失效位是否为随机分布以判断是否要比对该对照图样与该晶圆图。

8.根据权利要求1所述的辨识方法，还包括：

该至少一待辨识晶圆为多个待辨识晶圆，当至少部分的该些待辨识晶圆的晶圆图无法被辨识且不属于随机分布类型时，从无法被辨识的该些晶圆图中选择具有最大故障率者作为一新增对照图样；以及

比较该新增对照图样与其余无法被辨识的该些晶圆图的相似度。

9.根据权利要求8所述的辨识方法，还包括：

执行一人工智能模型以自动训练一对照图样数据库，其中当出现该新增对照图样时，将该新增对照图样更新至该对照图样数据库。

10.一种计算机可读取记录介质，记录至少一程序代码，由一处理器存取该至少一程序代码以执行根据权利要求1所述的辨识方法。