[发明专利]表贴式压电微泵及其制作方法

摘要

本发明公开了一种表贴式压电微泵及其制作方法，先准备五块基板，从上往下依次为基板一到基板五；根据微泵结构特点对五块基板进行孔道和型腔设计并按此加工；基板一构成顶盖，基板二‑基板五叠放键合在一起形成泵体；在泵体金属通孔内壁沉积金属种子层，再通过电镀工艺沉积对应金属以填充金属通孔形成导电通道；在顶盖底面、泵体结构顶面和底面分别制作需要的图形化金属层；再在泵体顶面依次形成压电振子、顶电极、绝缘层；最后将顶盖与泵体焊接在一起即可。本方法加工简单，易于实现，加工精度高，可低成本批量生产，制备得到的压电微泵具有体积小、重量轻、封装接口一体化集成、输出流量大、适于封闭流体回路的特点。