[发明专利]一种调光膜用ITO导电膜的防电击穿制备方法在审

专利信息
申请号: 201911243994.9 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN110928012A 公开(公告)日: 2020-03-27
发明(设计)人: 何强民 申请(专利权)人: 深圳市康盛光电科技有限公司
主分类号: G02F1/1333 分类号: G02F1/1333
代理公司: 中山颖联知识产权代理事务所(普通合伙) 44647 代理人: 钟作亮
地址: 518110 广东省深圳市市辖区龙*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种调光膜用ITO导电膜的防电击穿制备方法,包括以下步骤:A、设备检查:先检查设备保证真空腔内尤其是靶区及与膜有接触区域的清洁;以及是否有定期对靶区进行彻底清洁、更换备件和清洁卷绕端各传动辊;B、基材处理:对基材表面进行脱气处理;C、镀ITO膜;D、镀SiO2保护层即可制得ITO导电膜。本发明的调光膜用ITO导电膜的防电击穿制备方法,通过保证真空腔内尤其是靶区及与膜有接触区域的清洁,减少导电颗粒的产生;并在镀完ITO后再加镀一层薄的SiO2保护层,可减少98%以上的膜表面可能存在的ITO粉尘。本发明从源头上减少或杜绝调光膜表面的导电颗粒,能有效解决调光膜电击穿的问题。
搜索关键词: 一种 调光 ito 导电 击穿 制备 方法
【主权项】:
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