[发明专利]一种调光膜用ITO导电膜的防电击穿制备方法在审
申请号: | 201911243994.9 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN110928012A | 公开(公告)日: | 2020-03-27 |
发明(设计)人: | 何强民 | 申请(专利权)人: | 深圳市康盛光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333 |
代理公司: | 中山颖联知识产权代理事务所(普通合伙) 44647 | 代理人: | 钟作亮 |
地址: | 518110 广东省深圳市市辖区龙*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明涉及一种调光膜用ITO导电膜的防电击穿制备方法,包括以下步骤:A、设备检查:先检查设备保证真空腔内尤其是靶区及与膜有接触区域的清洁;以及是否有定期对靶区进行彻底清洁、更换备件和清洁卷绕端各传动辊;B、基材处理:对基材表面进行脱气处理;C、镀ITO膜;D、镀SiO |
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搜索关键词: | 一种 调光 ito 导电 击穿 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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