[发明专利]三维无结型神经元网络器件及其制作方法

摘要

本发明提供一种三维无结型神经元网络器件及其制作方法，器件包括：衬底，所述衬底的表面形成有堆叠结构，所述堆叠结构包括交替层叠的栅极层及隔离层，所述堆叠结构具有贯穿至所述衬底的沟道孔；权重栅层，形成于所述沟道孔表面，所述权重栅层与沟道孔底部具有间隙；栅介质层，位于所述权重栅层与所述栅极层之间；隧穿介质层，位于所述权重栅层表面；沟道层，填充于所述沟道孔中，所述沟道层与所述衬底接触。本发明采用垂直堆叠的隔离层和栅极层设计，堆叠结构中具有沟道孔阵列，通过在沟道孔中形成垂直分布且全包围栅设计的神经元网络器件串，一方面可提高神经元器件的集成度，另一方面可提高栅极对器件的控制能力。