[发明专利]一种铟铝共掺硫化锌薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201911214221.8 | 申请日： | 2019-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110747436A | 公开（公告）日： | 2020-02-04 |
| 发明（设计）人： | 李文剑;陈伟新;赖文彬 | 申请（专利权）人： | 福建省电子信息应用技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/58 |
| 代理公司： | 35219 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 施文武;魏小霞 |
| 地址： | 350000 福建省福州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铟铝共掺硫化锌薄膜的及其制备方法，所述制备方法以下步骤：基片清洗：通过超声波反复震荡清洗玻璃基片，然后烘干玻璃基片；本征ZnS材料第一次蒸镀：在真空环境中，通过电子束在玻璃基片上蒸镀ZnS材料，形成第一层薄膜；铟铝掺杂：当形成第一层薄膜后，首先在第一层薄膜上真空蒸镀单质In，蒸镀单质In后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第二层薄膜；在第二层薄膜上真空蒸镀Al单质；本征ZnS材料第三次蒸镀：蒸镀Al单质后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第三层薄膜，得到掺杂硫化锌薄膜；快速退火：通过在氩气对得到的掺杂硫化锌薄膜进行退火。通过真空电子束蒸发制备的铟铝掺杂硫化锌薄膜，成份易控制，成本低，产品性能优良。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 蒸镀 硫化锌薄膜 单质 玻璃基片 掺杂 第一层 铟铝 制备 电子束蒸镀 真空蒸镀 本征 电子束 退火 真空电子束 氩气 产品性能 基片清洗 快速退火 真空环境 震荡清洗 超声波 第三层 烘干 共掺 蒸发 | ||
【主权项】：
1.一种铟铝共掺硫化锌薄膜的制备方法，其特征在于，以下步骤：/n基片清洗：通过超声波反复震荡清洗玻璃基片，然后烘干玻璃基片；/n本征ZnS材料第一次蒸镀：在真空环境中，通过电子束在玻璃基片上蒸镀ZnS材料，形成第一层薄膜；/n铟铝掺杂：当形成第一层薄膜后，首先在第一层薄膜上真空蒸镀单质In，蒸镀单质In后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第二层薄膜；在第二层薄膜上真空蒸镀Al单质；/n本征ZnS材料第三次蒸镀：蒸镀Al单质后，再次通过电子束蒸镀ZnS材料，形成第三层薄膜，得到掺杂硫化锌薄膜；/n快速退火：通过在氩气对得到的掺杂硫化锌薄膜进行退火。/n
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