[发明专利]一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法

摘要

本发明公开了一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，该方法包括步骤：安置多个内径为50‑70mm的坩埚，设置坩埚的中心间距为300‑600mm，设置坩埚与工件的垂直距离为270‑660mm；对工件进行表面处理，将表面清理干净的工件固定在转动轴上；加热工件；将涂层材料装入坩埚，通过电子束加热蒸发坩埚中的涂层材料，在坩埚正中间上方形成稳定的蒸汽云；将工件送入蒸汽云中，通过旋转轴旋转工件，沉积涂层；沉积涂层结束，关闭电子束，待工件降温后取出工件，工件表面获得均匀热障涂层。本发明解决了大尺寸航空发动机涡轮叶片用电子束物理气相沉积技术制备均匀热障涂层的难题。