[发明专利]一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法在审
| 申请号： | 201911180329.X | 申请日： | 2019-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110863179A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 姜春竹;崔向中;高巍;周国栋;马江宁 | 申请（专利权）人： | 中国航空制造技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100024 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 均匀 沉积 热障 涂层 电子束 物理 方法 | ||
1.一种大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，该方法包括步骤：
(1)排布坩埚：安置多个内径为50-70mm的坩埚，设置坩埚的中心间距为300-600mm，设置坩埚与工件的垂直距离为270-660mm；
(2)预处理工件：对工件进行表面处理，将表面清理干净的工件固定在转动轴上；
(3)加热工件：加热温度为800-1100℃；
(4)形成蒸汽云：将涂层材料装入坩埚，通过电子束加热蒸发坩埚中的涂层材料，在坩埚正中间上方形成稳定的蒸汽云；
(5)沉积涂层：将工件送入蒸汽云中，通过旋转轴旋转工件，转速为5-25rad/min，沉积涂层时间为10-40min；
(6)涂层结束：关闭电子束，待工件温度降低到50℃取出工件，工件表面获得均匀热障涂层。
2.根据权利要求1的大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述的坩埚为2-3个，坩埚内径为60mm，设置坩埚的中心间距为300mm，设置坩埚与工件的垂直距离为270mm。
3.根据权利要求1的大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述的工件为发动机涡轮叶片，所述的表面处理为喷砂处理。
4.根据权利要求1的大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述的工件加热温度为850℃。
5.根据权利要求1的大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，在步骤(4)中，所述的涂层材料为钇稳定的氧化锆(YSZ)材料。
6.根据权利要求1的大面积均匀沉积热障涂层的电子束物理气相沉积方法，其特征在于，在步骤(5)中，所述的转速为10rad/min，所述的沉积涂层时间为25min。
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