[发明专利]一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统在审
| 申请号： | 201911155614.6 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110760931A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 孙聂枫;王书杰;史艳磊;邵会民;付莉杰;李晓岚;王阳;徐森锋;刘惠生;孙同年 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B15/00 |
| 代理公司： | 13123 石家庄众志华清知识产权事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 王苑祥;张永霞 |
| 地址： | 050000 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，本发明属于半导体技术领域，包括真空系统、充放气系统、温度与压力控制系统、电气控制系统、冷却循环系统、称重系统和炉体，炉体上设置有坩埚杆旋转升降机构和籽晶杆升降机构，关键在于：所述炉体分隔为合成生长室、投料室及装料室，装料室和投料室借助插板分隔，装料室内设置翻转投料器，投料室内设置送料管，送料管一端对接翻转投料器，一端延伸至合成生长室内的坩埚内形成铟磷混合球投送结构；坩埚定位在坩埚杆上，籽晶杆升降机构设置在合成生长室顶盖上。可将铟磷混合球快速投入到覆盖有液态氧化硼的坩埚中，合成后后，原位提拉形成磷化铟晶体，合成速度更快，利于产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 合成 坩埚 铟磷 磷化铟晶体 升降机构 翻转 混合球 生长室 送料管 投料器 投料室 装料室 籽晶杆 坩埚杆 室内 炉体 半导体技术领域 电气控制系统 冷却循环系统 旋转升降机构 压力控制系统 产业化生产 充放气系统 混合物制备 装料 称重系统 炉体分隔 真空系统 顶盖 投送 氧化硼 插板 提拉 投料 分隔 生长 延伸 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，包括真空系统、充放气系统、温度与压力控制系统、电气控制系统、冷却循环系统、称重系统和炉体，炉体上设置有坩埚杆旋转升降机构和籽晶杆升降机构，其特征在于：所述炉体分隔为合成生长室（1）、投料室（19）及装料室（27），装料室（27）和投料室（19）借助插板（22）分隔，装料室（27）内设置翻转投料器，投料室（19）内设置送料管（18），送料管（18）一端向上对接翻转投料器，一端向下延伸至合成生长室（1）内的坩埚（10）内形成铟磷混合球投送结构；坩埚（10）定位在坩埚杆（16）上，籽晶杆升降机构设置在合成生长室（1）顶盖上。/n
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