[发明专利]一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统

权利要求书

1.一种利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，包括真空系统、充放气系统、温度与压力控制系统、电气控制系统、冷却循环系统、称重系统和炉体，炉体上设置有坩埚杆旋转升降机构和籽晶杆升降机构，其特征在于：所述炉体分隔为合成生长室（1）、投料室（19）及装料室（27），装料室（27）和投料室（19）借助插板（22）分隔，装料室（27）内设置翻转投料器，投料室（19）内设置送料管（18），送料管（18）一端向上对接翻转投料器，一端向下延伸至合成生长室（1）内的坩埚（10）内形成铟磷混合球投送结构；坩埚（10）定位在坩埚杆（16）上，籽晶杆升降机构设置在合成生长室（1）顶盖上。

2.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述翻转投料器包括机械臂（28）、载料器（24）及载料器翻转驱动装置（32），机械臂（28）上端定位在装料室（27）顶部、下端连接翻转驱动装置（32），翻转驱动装置（32）与载料器（24）连接。

3.根据权利要2所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述载料器翻转驱动装置（32）为定位于机械臂（28）底端的电机（32-3），电机（32-3）轴与载料器（24）连接。

4.根据权利要3所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述电机（32-3）的外部包覆有隔热层（32-2）和保护罩（32-1）。

5.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述充放气系统包括低温惰性气体储罐、分设于装料室（27）顶部和合成生长室（1）底部的进气口（31）和排气口（15），进气口（31）高于送料管（18）的入口；低于156℃的惰性气体从装料室（27）进入投料室（19），并经送料管（18）进入合成生长室（1），送至坩埚（10）上方，从排气口（15）排出。

6.根据权利要求5所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述炉体内的压力值为3.5-5.0Mpa，投料室（19）的压力高于合成生长室（1）0.05-0.1MPa。

7.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述合成生长室（1）的炉壁上设置有第一观察窗（17），所述装料室（27）的炉壁上设置有第二观察窗（30）。

8.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述装料室的顶部设置有装料门（29）。

9.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述插板（22）与炉壁之间设置有密封圈Ⅰ（22-1），所述送料管（18）包括位于顶部的漏斗段和从投料室（19）通入合成生长室（1）内的竖管段或斜管段。

10.根据权利要求1所述的利用铟磷混合物制备磷化铟晶体的系统，其特征在于：所述竖管段或斜管段管壁内通有冷却水，插板（22）具有隔层，隔层内通有冷却水。