[发明专利]一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机

摘要

本发明公开了一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机，包括腔室主体、机械手臂、防堵机构、工作台和圆形置槽，所述腔室主体内部的一侧固定有机械手臂，所述机械手臂下方的腔室主体内部设置有工作台，且工作台的表面安装有移动平台，所述工作台一侧的腔室主体内部安装有待洗料侧架，所述待洗料侧架一侧的腔室主体内部安装有清洗平台，且清洗平台的顶端固定有二氧化碳喷射器，所述腔室主体顶端的中心位置处安装有净化器，且净化器外侧的腔室主体表面设置有防堵机构。本发明不仅避免了自动清洗机在对空气净化处理时发生堵塞现象，提高了自动清洗机的工作效率，而且避免了自动清洗机对待洗料盒放置时发生错位现象。