[发明专利]一种无偏振选择的高效率超导纳米线单光子探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种无偏振选择的高效率超导纳米线单光子探测器及其制备方法，该超导纳米线单光子探测器包括：衬底；金属薄膜反射镜，结合于所述衬底表面；介质层，结合于所述金属薄膜反射镜表面；超导纳米线，结合于所述介质层表面；介质纳米线，结合于所述超导纳米线表面和所述介质层表面。本发明还提供了上述无偏振选择的高效率超导纳米线单光子探测器的制备方法。本发明的探测器采用介质纳米线优化超导纳米线内部的电磁场分布，以及使用制备工艺简单的介质层和金属薄膜反射镜，提高了器件对各个偏振方向的入射光的吸收效率，具有无入射光偏振吸收差异、整体吸收率高的优势，提高了器件的整体性能。