[发明专利]一种金刚石生长托盘和系统有效
| 申请号： | 201911053062.8 | 申请日： | 2019-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN110714225B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 彭国令;黄翀 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/12 |
| 代理公司： | 长沙楚为知识产权代理事务所(普通合伙) 43217 | 代理人： | 李大为 |
| 地址： | 410205 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石制造领域，尤其涉及一种金刚石生长托盘和系统。一种金刚石生长托盘，包括基部、装设在所述基部上的承台；所述承台为正多棱台形或圆台形，在上表面具有凹槽，所述凹槽的开口处边沿为倒角设计。相较于现有技术，具有以下效果：通过新设计的籽晶托盘，可以维持籽晶表面的等离子体分布及电场分布在最佳状态，保证金刚石籽晶生长环境稳定，降低表面生长缺陷数量，最终合成出高质量的单晶金刚石片；通过新设计的籽晶托盘，可以使籽晶托盘边缘碳黑等杂质生长速率显著降低，保证单次稳定生长时间更长，可以一次性生长更厚的产品，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 生长 托盘 系统 | ||
【主权项】：
1.一种金刚石生长托盘，其特征在于，包括基部、装设在所述基部上的承台；/n所述承台为正多棱台形或圆台形，在上表面具有凹槽，所述凹槽的开口处边沿为倒角设计。/n
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