[发明专利]半导体装置在审
申请号: | 201911050799.4 | 申请日: | 2019-10-31 |
公开(公告)号: | CN111129146A | 公开(公告)日: | 2020-05-08 |
发明(设计)人: | 王培勋;周智超;陈仕承;张荣宏;黄瑞乾;林群雄;王志豪 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 任芸芸;郑特强 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明实施例提供半导体装置,其包括半导体鳍状物、隔离结构、外延的源极/漏极结构以及硅化物层。半导体鳍状物位于基板上;隔离结构至少部分地围绕半导体鳍状物;外延的源极/漏极结构,位于半导体鳍状物上,其中外延的源极/漏极结构的延伸部分延伸于隔离结构上;硅化物层位于外延的源极/漏极结构上,且硅化物层连续围绕隔离结构上的外延的源极/漏极结构的延伸部分。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
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