[发明专利]一种HEMT器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201911018210.2 | 申请日： | 2019-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN110931547A | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 刘新科;邓煊华;利键;陈勇;王佳乐;胡聪;贺威 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 鲍竹 |
| 地址： | 518060 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明的目的是提供一种HEMT器件及其制备方法，与现有技术相比，本发明的HEMT器件具备高电阻率、高电子迁移率，通过氧离子注入形成高阻氮化镓和Al |
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| 搜索关键词： | 一种 hemt 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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