[发明专利]光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法在审
| 申请号： | 201910991014.7 | 申请日： | 2019-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN110794657A | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 白靖宇 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请提供的一种光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法，所述光阻去除装置包括容器、第一供给部和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在所述容纳腔中混合形成的清洗液。本申请的光阻去除装置解决了现有技术的清洗液导致的光阻去除的时间及质量受到影响的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 光阻去除 容纳腔 供给部 清洗液 臭氧 硫酸 申请 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种光阻去除装置，其特征在于，包括容器、第一供给部、和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在所述容纳腔中混合形成的清洗液。/n
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- P.亨德里克;J.辛内萨伊;R.卡博尼尼;S.维布鲁格赫 - 爱克发有限公司
- 2014-01-07 - 2019-11-15 - G03F7/30
- 一种制造平版印刷版的方法，其包括以下步骤：a)依图像曝光平版印刷版前体，其包含具有亲水表面或带有亲水层的载体和在所述载体上的包含可光聚合的组合物的感光或感热涂层，b)用第一溶液，接着用第二溶液加工所述前体，由此从非印刷区中的载体上除去涂层，其中所述第一和第二溶液由级联系统提供，其中所述第二溶液溢流到所述第一溶液中且所述第一溶液溢流到容器中以进一步作为废物处理，其中通过以至少5毫升/平方米处理的前体和最多100毫升/平方米处理的前体的比率添加补充溶液或补充溶液的混合物来使所述第二溶液再生，其中所述第一和第二溶液分别通过第一和第二液体输送系统循环，其中所述第一液体输送系统中存在的第一溶液具有分别通过公式1和公式2限定的至少Vmin和最多Vmax的体积，Vmin=[A+(加工宽度/0.95米)].升 (公式1)；Vmax=[B+(加工宽度/0.95米)].升 (公式2)。其中Vmin和Vmax分别代表所述第一液体输送系统中存在的最小体积和最大体积，它们各自以升表示，其中A和B代表分别为2和15的恒定值，且其中所述加工宽度代表加工装置内的与加工方向垂直的以米表示的宽度，其可用于横跨其宽度以均一方式加工版前体。
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