[发明专利]一种坩埚组件及其安装方法在审
| 申请号： | 201910978400.2 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110629282A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11336 北京市磐华律师事务所 | 代理人： | 李晴 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种坩埚组件及其安装方法，所述坩埚组件包括：碳碳坩埚，所述碳碳坩埚侧壁的同一高度上分布有至少三个第一通孔；吊装环，所述吊装环的内径不小于所述碳碳坩埚的外径，所述吊装环的侧壁上分布有与所述第一通孔一一对应的第二通孔，并且，所述吊装环顶部设置有用于吊装的支脚；以及插销，用于插入所述第一通孔和第二通孔，以使所述碳碳坩埚和所述吊装环相对固定。本发明提供的坩埚组件及其安装方法能够方便快捷地将碳碳坩埚、石英坩埚及硅料放置于炉内；能够快速调节好水平，保证热场的稳定性；能够避免石英坩埚的损伤，降低事故发生的概率；还能够在停炉之后坩埚温度较高的情况下取放坩埚。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 吊装环 碳碳 通孔 坩埚组件 石英坩埚 插销 顶部设置 快速调节 事故发生 坩埚侧壁 侧壁 硅料 炉内 取放 热场 停炉 支脚 吊装 损伤 概率 保证 | ||
【主权项】：
1.一种坩埚组件，其特征在于，所述坩埚组件包括：/n碳碳坩埚，所述碳碳坩埚侧壁的同一高度上分布有至少三个第一通孔；/n吊装环，所述吊装环的内径不小于所述碳碳坩埚的外径，所述吊装环的侧壁上分布有与所述第一通孔一一对应的第二通孔，并且，所述吊装环顶部设置有用于吊装的支脚；以及/n插销，用于插入所述第一通孔和第二通孔，以使所述碳碳坩埚和所述吊装环相对固定。/n
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