[发明专利]一种坩埚组件及其安装方法在审
| 申请号： | 201910978400.2 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110629282A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 邓先亮 | 申请（专利权）人： | 上海新昇半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11336 北京市磐华律师事务所 | 代理人： | 李晴 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 吊装环 碳碳 通孔 坩埚组件 石英坩埚 插销 顶部设置 快速调节 事故发生 坩埚侧壁 侧壁 硅料 炉内 取放 热场 停炉 支脚 吊装 损伤 概率 保证 | ||
1.一种坩埚组件，其特征在于，所述坩埚组件包括：
碳碳坩埚，所述碳碳坩埚侧壁的同一高度上分布有至少三个第一通孔；
吊装环，所述吊装环的内径不小于所述碳碳坩埚的外径，所述吊装环的侧壁上分布有与所述第一通孔一一对应的第二通孔，并且，所述吊装环顶部设置有用于吊装的支脚；以及
插销，用于插入所述第一通孔和第二通孔，以使所述碳碳坩埚和所述吊装环相对固定。
2.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔的数目分别为八个。
3.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述支脚的数目为四个。
4.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述支脚与所述吊装环通过螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，任意两个相邻的所述第一通孔之间的距离相等，并且，任意两个相邻的所述第二通孔之间的距离相等。
6.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述支脚均匀分布在所述吊装环顶部。
7.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，所述吊装环为碳碳环或石墨环。
8.根据权利要求1所述的坩埚组件，其特征在于，还包括设置于所述碳碳坩埚内部的石英坩埚，所述石英坩埚用于盛放硅料。
9.一种基于权利要求1-8之一所述坩埚组件的安装方法，其特征在于，包括：
将吊装环套设在碳碳坩埚外部，并将所述碳碳坩埚上的第一通孔与所述吊装环上的第二通孔对齐；
在所述第一通孔和所述第二通孔中插入插销，以使所述碳碳坩埚和所述吊装环相对固定；
通过所述吊装环上的支脚将所述碳碳坩埚和所述吊装环吊装到单晶炉内。
10.根据权利要求9所述的安装方法，其特征在于，在将所述吊装环套设在所述碳碳坩埚外部之前，还包括：
将石英坩埚放置在所述碳碳坩埚中；
调节所述石英坩埚的水平；以及
在所述石英坩埚中装入硅料。
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