[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法在审
| 申请号： | 201910971851.3 | 申请日： | 2019-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN111045292A | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 丸山仁 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/20;G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 杜丽利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法。包含以下组分的感光性树脂组合物是储存稳定的：(A)含有环氧基和/或酚羟基的有机硅树脂，(B)光致产酸剂，和(C)选自二氮杂双环十一烯、二氮杂双环壬烯、二氮杂双环十一烯衍生物的有机盐和二氮杂双环壬烯衍生物的有机盐的固化促进剂。可以加工由此获得的感光性树脂涂层以形成精细尺寸的图案。树脂涂层具有改进的膜性质，包括耐化学品性、对基底的粘合性、机械性质、电绝缘性和耐铜迁移性，并且因此作为绝缘性保护膜完全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
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