[发明专利]感光性树脂组合物、感光性干膜和图案形成方法

权利要求书

1.感光性树脂组合物，其包含(A)含有环氧基和/或酚羟基的有机硅树脂，(B)光致产酸剂，和(C)选自二氮杂双环十一烯、二氮杂双环壬烯、具有二氮杂双环十一烯衍生物作为阳离子种的有机盐和具有二氮杂双环壬烯衍生物作为阳离子种的有机盐的至少一种固化促进剂。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中所述有机硅树脂(A)包含具有式(a1)至(a4)和(b1)至(b4)的重复单元：

其中，R¹至R⁴各自独立地为C₁-C₈一价烃基，m为1至600的整数，a¹至a⁴和b¹至b⁴为以下范围内的数：0≤a¹<1、0≤a²<1、0≤a³<1、0≤a⁴<1、0≤b¹<1、0≤b²<1、0≤b³<1、0≤b⁴<1、0<a¹+a²+a³<1、0<b¹+b²+b³<1并且a¹+a²+a³+a⁴+b¹+b²+b³+b⁴＝1，

X¹为具有式(X1)的二价基团：

其中，Y¹为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R¹¹和R¹²各自独立地为氢或甲基，R¹³和R¹⁴各自独立地为C₁-C₄烷基或C₁-C₄烷氧基，p¹和p²各自独立地为0至7的整数，q¹和q²各自独立地为0至2的整数，

X²为具有式(X2)的二价基团：

其中，Y²为单键、亚甲基、丙烷-2,2-二基、1,1,1,3,3,3-六氟丙烷-2,2-二基或芴-9,9-二基，R²¹和R²²各自独立地为氢或甲基，R²³和R²⁴各自独立地为C₁-C₄烷基或C₁-C₄烷氧基，r¹和r²各自独立地为0至7的整数，s¹和s²各自独立地为0至2的整数，

X³为具有式(X3)的二价基团：

其中，R³¹和R³²各自独立地为氢或甲基，t¹和t²各自独立地为0至7的整数，

X⁴为具有式(X4)的二价基团：

其中，R⁴¹和R⁴²各自独立地为氢或甲基，R⁴³和R⁴⁴各自独立地为C₁-C₈一价烃基，u¹和u²各自独立地为0至7的整数，v为0至600的整数。

3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其另外包含(D)交联剂。