[发明专利]基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器及打印方法

摘要

基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器及打印方法，涉及半导体材料技术领域，解决现有探测器存在无法进行分波段探测，且不能实现柔性化设计的问题，依次在衬底上打印的MoS2层、石墨烯层、BN层以及Ag层；在所述衬底背面打印PtSe2层和Ag层；MoS2层、石墨烯层、BN层、Ag层以及PtSe2层的厚度均为1μm‑10μm。还包括分别在石墨烯层、BN层、Ag层生长Al2O3保护层，Al2O3保护层的厚度为2nm‑3nm。本发明采用喷墨打印技术制备半导体二维材料以及电极。提出的分波段柔性光探测器，增加栅极的结构，并在栅极下方生长氮化硼二维材料，使得二硫化钼产生光生载流子时表现为栅极电流增加，实现分波段的探测由于选用透明的衬底，还在器件背部生长二硒化铂二维材料以实现对中红外波段的响应。

主权项

1.一种基于喷墨打印技术的分波段柔性光探测器，其特征是：包括依次在衬底上打印的MoS