[发明专利]一种半导体激光器及其载流子注入方法在审
申请号: | 201910917248.7 | 申请日: | 2019-09-26 |
公开(公告)号: | CN110739605A | 公开(公告)日: | 2020-01-31 |
发明(设计)人: | 王俊;赵智德;谭少阳;程洋 | 申请(专利权)人: | 苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司;苏州长光华芯光电技术有限公司 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;H01S5/22 |
代理公司: | 11250 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张琳琳 |
地址: | 215011 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种半导体激光器及其载流子注入方法,其中方法包括:在衬底上制备半导体激光器外延结构,获取外延结构晶圆片;在晶圆片上制备半导体激光器的脊形结构;在脊形结构上制备介质薄膜;将位于脊形结构脊面上的介质薄膜进行刻蚀处理,形成沿纵向方向的非均匀形状分布的介质薄膜;在介质薄膜上制备电极;将晶圆片进行解理,在解理面的前后两端分别制备减反薄膜及高反薄膜;从减反薄膜腔面到高反薄膜腔面进行载流子注入。通过控制脊面上介质薄膜的形状,实现电流沿脊形纵向的非均匀注入,抵消长腔长、两端腔面反射率差异引起的载流子非均匀分布,提升半导体激光器工作状态下增益沿纵向分布的均匀性,提高半导体激光器的光输出功率。 | ||
搜索关键词: | 半导体激光器 介质薄膜 制备 载流子 脊形结构 晶圆片 外延结构 薄膜腔 非均匀 解理 薄膜 非均匀分布 光输出功率 腔面反射率 形状分布 纵向分布 均匀性 电极 长腔 衬底 脊形 刻蚀 抵消 | ||
【主权项】:
1.一种半导体激光器的载流子注入方法,其特征在于,包括:/n在衬底上制备半导体激光器外延结构,获取外延结构晶圆片;/n在晶圆片上制备半导体激光器的脊形结构;/n在脊形结构上制备介质薄膜;/n将位于脊形结构脊面上的介质薄膜进行刻蚀处理,形成沿纵向方向的非均匀形状分布的介质薄膜;/n在介质薄膜上制备电极;/n将晶圆片进行解理,并在解理面的前后两端分别制备减反薄膜及高反薄膜;/n从减反薄膜腔面到高反薄膜腔面进行半导体激光器的载流子注入。/n
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