[发明专利]一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置

摘要

本发明公开了一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，包括：长直状的电极杆，其由刚性导电材料制成；以及分别连接于所述电极杆两端的接电固定组件及电极头，其中，所述接电固定组件由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件安装于炉盖的外侧，从所述接电固定组件引出的电极杆穿过所述炉盖后沿着所述真空反应炉的轴线方向延伸至所述真空反应炉的内部。根据本发明，其相比原有的通过石墨舟角与陶瓷支撑杆上电极转接组件接触方式，可避免多个工艺周期后镀膜(绝缘膜)沉积于石墨舟角、电极转接组件接触区导致电极接触不良问题。

主权项

1.一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，所述管式PECVD设备包括：/n管状的真空反应炉(2)，其内部中空并且两端敞开形成左敞口及右敞口；/n两个炉盖(1)，分别连接到所述真空反应炉(2)的端部以对所述左敞口及右敞口进行封闭；以及/n绝缘支撑架(6)，其固定安装于所述真空反应炉(2)内，用于承托石墨舟(7)，/n其特征在于，所述石墨舟电极对接装置包括：/n长直状的电极杆(3)，其由刚性导电材料制成；以及/n分别连接于所述电极杆(3)两端的接电固定组件(5)及电极头(4)，/n其中，所述接电固定组件(5)由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件(5)安装于炉盖(1)的外侧，从所述接电固定组件(5)引出的电极杆(3)穿过所述炉盖(1)后沿着所述真空反应炉(2)的轴线方向延伸至所述真空反应炉(2)的内部。/n