[发明专利]一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置

权利要求书

1.一种用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，所述管式PECVD设备包括：

管状的真空反应炉(2)，其内部中空并且两端敞开形成左敞口及右敞口；

两个炉盖(1)，分别连接到所述真空反应炉(2)的端部以对所述左敞口及右敞口进行封闭；以及

绝缘支撑架(6)，其固定安装于所述真空反应炉(2)内，用于承托石墨舟(7)，

其特征在于，所述石墨舟电极对接装置包括：

长直状的电极杆(3)，其由刚性导电材料制成；以及

分别连接于所述电极杆(3)两端的接电固定组件(5)及电极头(4)，

其中，所述接电固定组件(5)由刚性绝缘材料制成，所述接电固定组件(5)安装于炉盖(1)的外侧，从所述接电固定组件(5)引出的电极杆(3)穿过所述炉盖(1)后沿着所述真空反应炉(2)的轴线方向延伸至所述真空反应炉(2)的内部。

2.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述电极杆(3)由310S号不锈钢材料制成。

3.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述电极头(4)包括：

固定段(41)，其一端与所述电极杆(3)的端部进行可拆卸连接；以及

导通段(42)，其固定于所述固定段(41)的另一端，

其中，所述导通段(42)上开设有至少一条从其自由端出发向其固定端延伸的细槽(45)，所述细槽(45)在所述导通段(42)的径向方向上贯穿所述导通段(42)，使得所述导通段(42)被所述细槽(45)分割成至少两个分叉(44)。

4.如权利要求3所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述固定段(41)的径向尺寸大于所述导通段(42)的径向尺寸，其中，所述固定段(41)与所述导通段(42)之间固接有锥形导向段(43)，该锥形导向段(43)的径向尺寸在从所述固定段(41)出发向所述导通段(42)延伸的方向上呈逐渐收缩之势。

5.如权利要求3所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述导通段(42)的外周电镀有镀银层。

6.如权利要求1所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述接电固定组件(5)包括：

一端固定安装于所述炉盖(1)外侧的电极连接管(51)，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极连接管(51)的连接通孔(511)；

与所述电极连接管(51)的另一端同轴固接的电极安装管(52)，其内部中空以形成在轴线方向上贯穿所述电极安装管(52)的安装通孔(521)，

其中，所述安装通孔(521)与所述连接通孔(511)在轴向上相连通，所述安装通孔中(521)嵌设有由绝缘材料制成的绝缘安装套(53)，该绝缘安装套(53)从所述电极安装管(52)的端面出发延伸至连接通孔(511)中，电极杆(3)的端部插接入绝缘安装套(53)中并且从所述安装通孔(521)中露出形成接线端子，从所述绝缘安装套(53)引出的电极杆(3)经所述连接通孔(511)穿过所述炉盖(1)后沿着所述真空反应炉(2)的轴线方向延伸至所述真空反应炉(2)的内部。

7.如权利要求6所述的用于管式PECVD设备的石墨舟电极对接装置，其特征在于，所述安装通孔(521)的内径小于所述连接通孔(511)的内径。