[发明专利]一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上设置有光敏器件层，基底电路层与光敏器件层电连接；所述光敏器件层上设置有滤光结构层，滤光结构层上设置聚焦结构层，聚焦结构层用于将光线聚焦到光敏器件层上，且能够在可见光范围内产生0到2π的相移；所述滤光结构层由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列的高度为50‑200nm，周期为100‑400nm，纳米盘阵列纵横比为1:10‑1:1。本发明利用非晶硅纳米盘结构实现了多种波长的滤光，非晶硅可以在不同衬底上形成，具有很好的工艺兼容性。聚焦结构层、滤光结构层以及光敏器件层都集成在CMOS晶圆上，从而可以实现多波段滤光成像装置的小型化和便携化。

主权项

1.一种一体化集成有聚焦功能的多波段滤光传感器，其特征在于：包括基底电路层(1)，所述基底电路层(1)上设置有光敏器件层(2)，基底电路层(1)与光敏器件层(2)电连接；所述光敏器件层(2)上设置有滤光结构层(3)，滤光结构层(3)上设置聚焦结构层(5)，聚焦结构层(5)用于将光线聚焦到光敏器件层(2)上，且能够在可见光范围内产生0到2π的相移；所述滤光结构层(3)由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列的高度为50-200nm，周期为100-400nm，纳米盘阵列纵横比为1:10-1:1。/n