[发明专利]一种显示面板及其制备方法

摘要

本发明提供一种显示面板及其制备方法，显示面板包括基板、设置于基板上的遮光层、覆盖遮光层的缓冲层、设置于缓冲层上的有源层、层叠设置于有源层上的栅极绝缘层以及栅极金属层、设置于缓冲层上且覆盖栅极金属层的层间介质层、设置于层间介质层上的第二金属层；其中，有源层包括有源岛，有源岛包括导体层以及与栅极绝缘层对应并接触的半导体层，导体层上设置有保护层。利用铝原子与铟镓锌氧化物中的氧原子的相互扩散作用，在导体层的表面生成的结构致密的三氧化二铝保护层，保护导体化后的导体层，使导体层免受后续制程的影响；同时三氧化二铝具有高阻值的特性，可有效提高存储电容的单位面积电容，满足高解析度要求。

主权项

1.一种显示面板，其特征在于，包括：/n基板；/n设置于所述基板上的遮光层；/n设置于所述基板上且覆盖所述遮光层的缓冲层；/n设置于所述缓冲层上的有源层；/n层叠设置于所述有源层上的栅极绝缘层以及栅极金属层；/n设置于所述缓冲层上且覆盖所述栅极金属层的层间介质层；/n设置于所述层间介质层上的第二金属层，所述第二金属层包括源漏金属层；/n层叠设置于所述层间介质层上的钝化层和平坦层；/n层叠设置于所述平坦层上的阳极金属层、发光层和阴极金属层；/n其中，所述有源层包括有源岛，所述有源岛包括导体层以及与所述栅极绝缘层对应并接触的半导体层，所述导体层上设置有保护层，所述源漏金属层穿过所述保护层与所述导体层接触连接。/n