[发明专利]多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用在审
| 申请号： | 201910771404.3 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112422097A | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 陈泽基;王天昀;阚枭;袁泉;杨晋玲;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/05;H03H9/145;H03H9/24 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种多梁结构组合的射频微机电系统谐振器及应用，该多梁结构组合的射频微机电系统谐振器包括机电转换梁单元，其为所述谐振器输入端和输出端的换能组件；能量传输梁，其为所述机电转换梁单元的连接结构；电极，其为施加驱动激励；介质层，为机电转换梁单元与电极之间的间隙层；基座，起支撑所述谐振器的作用；以及支撑结构，实现所述谐振器的悬空。本发明的多种梁结构通过频率匹配实现模态耦合，畸变程度小，可保持高Q值，实现多种谐振频率的灵活设置，兼具良好的抗冲击、抗过载性能，可用于构建多模式、多频带、可重构的先进无线通信系统，增强其在复杂环境条件下的应用潜力，提升物联效果，增强环境感知能力。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 组合 射频 微机 系统 谐振器 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院半导体研究所，未经中国科学院半导体研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910771404.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种吡非尼酮的晶型及其制备方法
- 下一篇：一种多框槽零件的喷涂工艺方法
