[发明专利]MEMS加速度计防反射和反射器涂层有效
| 申请号： | 201910764035.5 | 申请日： | 2019-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN111141930B | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 威廉·艾伯特·查林纳 | 申请（专利权）人： | 通用电气公司 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093;G01P15/08;G01P15/097;G01P15/13 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种加速度计，包括：膜片；激光源，激光源产生激光束，激光束被引导至膜片，致使膜片振动；透明盖部，透明盖部设置在激光源和膜片之间；防反射膜，防反射膜设置在透明盖部的外表面上；以及检测器，检测器感测激光束的反射部分，反射部分包括调制强度。加速度信号部分地基于激光束的反射部分的调制强度的频率。 | ||
| 搜索关键词： | mems 加速度计 反射 涂层 | ||
【主权项】：
暂无信息
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