[发明专利]MEMS加速度计防反射和反射器涂层

权利要求书

1.一种加速度计，其特征在于，包含：

膜片；

激光源，所述激光源产生激光束，所述激光束被引导至所述膜片，使得所述膜片振动；

透明盖部，所述透明盖部设置在所述激光源和所述膜片之间；

防反射膜，所述防反射膜设置在所述透明盖部的外表面上；以及

检测器，所述检测器检测所述激光束的反射部分，所述反射部分包含调制强度，

其中，加速度信号部分地基于所述激光束的所述反射部分的所述调制强度的频率，

其中，所述防反射膜将从所述透明盖部的所述外表面的反射率减少到10％以下，以消除对激光波长或装置温度的敏感度。

2.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜包含50 nm和500 nm之间的厚度。

3.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜包含多层，并且

其中，所述多层中的至少一个层包含中间折光指数材料。

4.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜包含氧化钽、MgF₂、SiN、TaO_x、HfO_x和YO_x中的至少一种。

5.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜包含1.3和5之间的折光指数。

6.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，进一步包含设置在所述透明盖部和所述膜片之间的真空间隙，

其中，所述真空间隙的厚度在2微米和50微米之间。

7.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述透明盖部包含二氧化硅、硼硅酸盐玻璃、SiO₂、硅和三氧化硼中的至少一种。

8.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，进一步包含多层防反射涂层。

9.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，进一步包含设置在所述透明盖部的内侧表面上的反射涂层，

其中，所述反射涂层包含20％和80％之间的反射率。

10.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜进一步包含设置在所述激光源和所述透明盖部之间的指数匹配流体。

11.如权利要求10所述的加速度计，其特征在于，其中，所述激光源包含至少一个光纤维。

12.如权利要求1所述的加速度计，其特征在于，其中，所述防反射膜抑制从所述透明盖部的所述外表面的反射。

13.一种加速度计，其特征在于，包含：

膜片；

激光源，所述激光源产生激光束，所述激光束被引导至所述膜片，使得所述膜片振动；

透明盖部，所述透明盖部设置在所述激光源和所述膜片之间；

至少一个膜，所述至少一个膜设置在所述激光源和所述膜片之间的所述透明盖部的内表面上，所述至少一个膜包含20％和80％之间的反射率，以消除对激光波长或装置温度的敏感度；以及

检测器，所述检测器检测所述激光束的反射部分，所述反射部分包含调制强度，

其中，加速度信号部分地基于所述激光束的所述反射部分的所述调制强度的频率。

14.如权利要求13所述的加速度计，其特征在于，所述至少一个膜进一步包含：

第一层，所述第一层具有高折光指数，所述第一层邻近所述透明盖部；

第二层，所述第二层具有低折光指数，所述第二层邻近所述第一层；和

第三层，所述第三层具有高折光指数，所述第三层邻近所述第二层。