[发明专利]一种精细金属掩膜板的设计方法及装置

摘要

本发明公开了一种精细金属掩膜板的设计方法及装置，该设计方法通过建立精细金属掩膜板的三维仿真模型，根据仿真条件和材料属性参数对三维仿真模型进行仿真运算，从而能够根据该仿真结果对设计参数进行调整，可以帮助设计人员设计制作精细金属掩膜板FMM，并且由于仿真结果的准确度高，设计人员还能及时发现存在设计缺陷的FMM，提高制作出的FMM的良品率，以解决设计人员依靠经验设计制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低的技术问题，达到提高FMM生产制作的良品率、降低成本的技术效果。

主权项

1.一种精细金属掩膜板的设计方法，其特征在于，包括：根据精细金属掩膜板的设计参数，建立所述精细金属掩膜板的三维仿真模型，以及，获取所述精细金属掩膜板的材料属性参数，所述材料属性参数包括弹性模量、剪切模量和泊松比中的至少一种；根据所述材料属性参数与仿真条件，对所述三维仿真模型进行仿真运算，以获得对所述精细金属掩膜板进行张网拉伸后的仿真结果，所述仿真条件用于表示张网拉伸时所述精细金属掩膜板的所受到的约束情况，所述仿真结果包括所述精细金属掩膜板在进行张网拉伸之后的形变情况、受到的应力情况和应变情况中的至少一者；确定所述仿真结果是否与预设结果匹配；在为否时，根据所述仿真结果调整所述设计参数。