[发明专利]一种精细金属掩膜板的设计方法及装置

说明书

本发明公开了一种精细金属掩膜板的设计方法及装置，该设计方法通过建立精细金属掩膜板的三维仿真模型，根据仿真条件和材料属性参数对三维仿真模型进行仿真运算，从而能够根据该仿真结果对设计参数进行调整，可以帮助设计人员设计制作精细金属掩膜板FMM，并且由于仿真结果的准确度高，设计人员还能及时发现存在设计缺陷的FMM，提高制作出的FMM的良品率，以解决设计人员依靠经验设计制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低的技术问题，达到提高FMM生产制作的良品率、降低成本的技术效果。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种精细金属掩膜板的设计方法及装置。

背景技术

有机发光二极管(organic light emitting diode，OLED)又被称为有机电激光显示、有机发光半导体，其具有自发光的特性。由于OLED显示面板的像素密度高，在制作OLED显示面板时，需要采用厚度超薄(如20-30um)的精细金属掩膜板(fine metal mask，FMM)，也被称为精细金属掩膜版，来蒸镀OLED显示面板内的三基色(red green blue，RGB)有机发光体。

通常采用热膨胀系数较小的因瓦合金(INVAR，也被称为殷钢)通过化学刻蚀的方法来制备FMM，在刻蚀之后，FMM还需要进行张网拉伸处理才能用来蒸镀。但由于刻蚀后的FMM变得又薄又脆，且表面形貌高低不一，在实际的张网拉伸过程中就极易出现褶皱和下垂，而在蒸镀过程中FMM需要紧贴在待蒸镀的有机发光体基板的表面，并需要保持很高的位置精度，此时张网拉伸造成的褶皱和下垂就会导致蒸镀材料发生位移，造成混色。

FMM出现褶皱和下垂除了与张网拉伸相关，还与FMM的设计相关，因为FMM的制作成本高、周期长、且工艺复杂，在设计FMM时就需要设计人员对FMM张网拉伸时可能会出现的褶皱和下垂情况作出预判，从而才能减少褶皱和下垂的出现，但目前设计人员在设计FMM时是依靠经验来预判FMM张网拉伸时可能会出现的褶皱和下垂，由于依靠经验来预判的不可靠性，从而制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低。

发明内容

本发明实施例通过提供一种精细金属掩膜板的设计方法及装置，用于解决现有技术中设计人员依靠经验设计制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低的技术问题。

第一方面，本发明一实施例提供了一种精细金属掩膜板的设计方法，包括：

根据精细金属掩膜板的设计参数，建立所述精细金属掩膜板的三维仿真模型，以及，获取所述精细金属掩膜板的材料属性参数，所述材料属性参数包括弹性模量、剪切模量和泊松比中的至少一种；

根据所述材料属性参数与仿真条件，对所述三维仿真模型进行仿真运算，以获得对所述精细金属掩膜板进行张网拉伸后的仿真结果，所述仿真条件用于表示张网拉伸时所述精细金属掩膜板的受力情况，所述仿真结果包括所述精细金属掩膜板在进行张网拉伸之后的形变情况、受到的应力情况和应变情况中的至少一者；

确定所述仿真结果是否与预设结果匹配；

在为否时，根据所述仿真结果调整所述设计参数。

本实施方式中，通过建立精细金属掩膜板的三维仿真模型，根据仿真条件和材料属性参数对三维仿真模型进行仿真运算，相对于设计人员依据经验进行张网拉伸结果的预测而言，仿真运算更加准确，从而得到的仿真结果准确度较高，该仿真结果能够较准确的反映张网拉伸后金属掩膜板的变形情况，根据该仿真结果调整设计参数，可以帮助设计人员设计制作FMM，并且由于仿真结果的精度高、准确度高，设计人员还能及时发现存在设计缺陷的FMM，提高制作出的FMM的良品率，以解决设计人员依靠经验设计制作出的FMM和预想结果之间误差大、良品率低的技术问题，达到提高FMM生成制作的良品率、以及由于提高了良品率间接降低了成本的技术效果。