[发明专利]一种精细金属掩膜板的设计方法及装置

权利要求书

1.一种精细金属掩膜板的设计方法，其特征在于，包括：

根据精细金属掩膜板的设计参数的第一尺寸，建立像素单元结构的三维仿真模型，至少一个所述像素单元结构构成所述精细金属掩膜板的像素区，所述像素单元结构为所述像素区中具有各向异性的最小结构；其中，所述精细金属掩膜板包括像素区和非像素区，所述设计参数包括所述像素区的第一尺寸和非像素区的第二尺寸；

根据所述像素单元结构的三维仿真模型和壳单元建模方式，建立所述像素区的三维仿真模型；

根据所述第二尺寸和所述壳单元建模方式，建立所述非像素区的三维仿真模型；

合并所述像素区的三维仿真模型和所述非像素区的三维仿真模型，获取所述精细金属掩膜板的三维仿真模型；

以及，获取所述精细金属掩膜板的材料属性参数，所述材料属性参数包括弹性模量、剪切模量和泊松比中的至少一种；

根据所述材料属性参数与仿真条件，对所述三维仿真模型进行仿真运算，以获得对所述精细金属掩膜板进行张网拉伸后的仿真结果，所述仿真条件用于表示张网拉伸时所述精细金属掩膜板的所受到的约束情况，所述仿真结果包括所述精细金属掩膜板在进行张网拉伸之后的形变情况、受到的应力分布情况和应变分布情况中的至少一者；

确定所述仿真结果是否与预设结果匹配；

在为否时，根据所述仿真结果调整所述设计参数。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述精细金属掩膜板的材料属性参数，包括：

复制所述像素单元结构的三维仿真模型，获取具有正交各向异性的像素单元组结构；

采用有限元分析法，对所述像素单元组结构进行分析，获取所述材料属性参数。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述仿真结果包括位移云图、应力云图和应变云图中的至少一者，所述确定所述仿真结果是否与预设结果匹配，包括：

获取所述位移云图中的预设路径的形变情况；确定所述形变情况是否与所述预设结果中的预设形变情况匹配，其中，在为是时确定所述仿真结果与所述预设结果匹配，在为否时确定所述仿真结果与所述预设结果不匹配；和/或，

获取所述应力云图中的所述预设路径的应力分布情况；确定所述应力分布情况是否与所述预设结果中的预设应力分布情况匹配，其中，在为是时确定所述仿真结果与所述预设结果匹配，在为否时确定所述仿真结果与所述预设结果不匹配；和/或，

获取所述应变云图中的所述预设路径的应变分布情况；确定所述应变分布情况是否与所述预设结果中的预设应变分布情况匹配，其中，在为是时确定所述仿真结果与所述预设结果匹配，在为否时确定所述仿真结果与所述预设结果不匹配。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述仿真结果调整所述设计参数，包括：

根据所述形变情况、所述应力分布情况和所述应变分布情况中的至少一者，调整所述设计参数中对应于所述精细金属掩膜板非像素区的开口的位置和/或开口的分布密度。

5.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述精细金属掩膜板的三维仿真模型的厚度为初始厚度与预设系数的乘积，所述设计参数包括所述初始厚度，所述预设系数为常数。