[发明专利]一种用于高硬脆半导体材料的线切割油及其制备方法在审
| 申请号: | 201910597456.3 | 申请日: | 2019-07-04 |
| 公开(公告)号: | CN110373256A | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
| 发明(设计)人: | 吴明洋;罗丽琳 | 申请(专利权)人: | 俄美达(武汉)有限公司 |
| 主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10N40/22;C10N30/06;C10N30/04 |
| 代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 邓佳 |
| 地址: | 430074 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种用于高硬脆半导体材料的线切割油,包括以下重量份数的各原料组分:基础油80‑95份、悬浮稳定分散剂1‑15份、脂肪醇聚氧乙烯醚、0.5‑10份、二烷基二硫代磷酸锌0.5‑8份、硫化烯烃0.5‑8份以及粘度调节剂0.2‑1份。本发明还公开了一种用于高硬脆半导体材料的线切割油的制备方法。本发明在保证高硬脆材料的加工润滑性的同时,后续清洗工艺过程中还能直接被水冲洗掉,并且所形成的砂浆在使用时还具有优异的流动性、分散性和静置稳定性。仓库管理成本。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体材料 线切割 制备 二烷基二硫代磷酸锌 脂肪醇聚氧乙烯醚 高硬脆材料 粘度调节剂 仓库管理 硫化烯烃 清洗工艺 悬浮稳定 重量份数 分散剂 分散性 基础油 润滑性 水冲洗 砂浆 加工 保证 | ||
【主权项】:
1.一种用于高硬脆半导体材料的线切割油,其特征在于,包括以下重量份数的各原料组分:基础油80‑95份、悬浮稳定分散剂1‑15份、脂肪醇聚氧乙烯醚、0.5‑10份、二烷基二硫代磷酸锌0.5‑8份、硫化烯烃0.5‑8份以及粘度调节剂0.2‑1份。
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