[发明专利]AR膜制备装置、AR膜制备方法及AR膜

摘要

本发明提供了一种AR膜制备装置、AR膜制备方法及AR膜，涉及AR膜生产制备技术领域，本发明提供的AR膜制备装置包括外壳、加热盘和射频源，外壳具有进气口以及出气口，进气口用于反应气体进入，出气口用于与抽真空系统连通，加热盘设于外壳内，加热盘用于承载基片，以使基片平放于加热盘上，射频源与外壳连接，以电离反应气体。本发明提供的AR膜制备装置在使用时，基片能够直接平放至加热盘上，免去了使用胶带或者夹具固定的麻烦，可以很容易的装载和卸载基片。同时，因为没有引入树脂薄膜或胶带，可以对基片进行高温加热，成膜密实，具备更优的耐划伤性能。

主权项

1.一种AR膜制备装置，其特征在于，包括外壳(1)、加热盘(2)和射频源(3)，所述外壳(1)具有进气口以及出气口，所述进气口用于反应气体进入，所述出气口用于与抽真空系统连通，所述加热盘设于所述外壳(1)内，所述加热盘(2)用于承载基片(4)，以使所述基片(4)平放于所述加热盘(2)上，所述射频源(3)与所述外壳(1)连接，以电离所述反应气体。