[发明专利]研磨装置在审
| 申请号： | 201910423388.9 | 申请日： | 2019-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN110576388A | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 小林久修;近藤隆;金箱孝则 | 申请（专利权）人： | 株式会社捷太格特 |
| 主分类号： | B24B37/02 | 分类号： | B24B37/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李慧;苏琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供静压支承构造一种研磨装置。在研磨装置(1)中，在砂轮座(42)的滑动面沿相对于主轴箱的相对移动方向配置有多个静压凹槽(42p)，具有从泵(50)向各静压凹槽(42p)供给流体而对于砂轮座(42)进行滑动支承的静压支承构造，并且具备进行如下控制的控制部(30)，根据在旋转轴线方向上砂轮(43)相对于工件(W)的相对位置，调整向多个静压凹槽(42p)中的前端侧的静压凹槽(42p)和后端侧的静压凹槽(42p)供给的流体的流量，从而改变基座(41)中的砂轮座(42)的支承姿势。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 砂轮座 静压支承 研磨装置 砂轮 方向配置 供给流体 滑动面沿 滑动支承 相对移动 旋转轴线 主轴箱 流体 支承 姿势 | ||
【主权项】：
1.一种研磨装置，包括：/n主轴台，对工件进行旋转驱动；/n基座，具有引导面；/n砂轮座，对砂轮进行旋转驱动并且具有与所述引导面对置的滑动面；/n流体供给部，向所述引导面与所述滑动面之间供给流体；以及/n驱动部，使经由所述流体能够滑动地支承于所述基座的所述砂轮座相对于所述主轴台相对移动，其中，/n所述研磨装置边使所述工件与所述砂轮分别旋转，边使所述砂轮座沿着所述工件的旋转轴线方向相对于所述主轴台相对地横移，从而对所述工件进行研磨，/n在所述研磨装置中，在所述引导面以及所述滑动面的至少一方沿引导方向配置有多个静压凹槽，构成从所述流体供给部向所述各静压凹槽供给所述流体而对所述砂轮座进行滑动支承的静压支承构造，/n所述研磨装置还具备进行如下控制的控制部，根据在所述旋转轴线方向上所述砂轮相对于所述工件的相对位置，调整向所述多个静压凹槽中的至少一个供给的所述流体的流量，从而改变所述基座中的所述砂轮座的支承姿势。/n
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