[发明专利]基板检测装置在审
| 申请号： | 201910327317.9 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110018171A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王珂 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种基板检测装置，包括扫描单元、控制系统以及光学测距单元，光学测距单元设置在扫描单元上，实时监测扫描单元与基板之间的第一距离值，并将第一距离值发送到控制系统，控制系统调节扫描单元的高度以使得第一距离值与控制系统中的设定值相同。通过设置光学测距单元，实时监测和调整扫描单元与基板之间的距离，进而使得两者之间的距离保持为固定值，不会因基板的平整度变化或硬件磨损老化而导致相机的扫图模糊，进而避免了基板缺陷漏检的问题，且可延迟检测设备的校正周期。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 扫描单元 光学测距 基板 基板检测装置 实时监测 单元设置 调整扫描 基板缺陷 距离保持 校正周期 延迟检测 平整度 漏检 磨损 相机 老化 模糊 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：平台，用以承载基板；多个扫描单元，设置于所述平台上方；控制系统，与所述扫描单元连接；以及光学测距单元，设置于所述扫描单元上，用以实时监测所述扫描单元与所述基板之间的第一距离值；其中，所述光学测距单元与所述控制系统连接，所述光学测距单元将所述第一距离值发送到所述控制系统，所述控制系统通过调节所述扫描单元的高度以使得所述第一距离值与所述控制系统中的设定值相同。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，未经深圳市华星光电半导体显示技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910327317.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于蜂巢模型的飞机蒙皮小型损伤定位方法
- 下一篇：产品检测系统及方法
