[发明专利]基板检测装置在审
| 申请号： | 201910327317.9 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110018171A | 公开（公告）日： | 2019-07-16 |
| 发明（设计）人： | 王珂 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/958;G01N21/01 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制系统 扫描单元 光学测距 基板 基板检测装置 实时监测 单元设置 调整扫描 基板缺陷 距离保持 校正周期 延迟检测 平整度 漏检 磨损 相机 老化 模糊 | ||
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括：
平台，用以承载基板；
多个扫描单元，设置于所述平台上方；
控制系统，与所述扫描单元连接；以及
光学测距单元，设置于所述扫描单元上，用以实时监测所述扫描单元与所述基板之间的第一距离值；其中，
所述光学测距单元与所述控制系统连接，所述光学测距单元将所述第一距离值发送到所述控制系统，所述控制系统通过调节所述扫描单元的高度以使得所述第一距离值与所述控制系统中的设定值相同。
2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述光学测距单元与所述扫描单元固定连接，所述光学测距单元与所述扫描单元一起移动。
3.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括支撑机构，所述扫描单元设置于所述支撑机构上。
4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述支撑机构与所述控制系统连接，所述支撑机构在竖直方向上移动。
5.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述支撑机构包括至少两个水平支撑杆和竖直支撑杆，所述水平支撑杆与所述竖直支撑杆连接。
6.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述竖直支撑杆上设置有与所述控制系统连接的驱动件，所述驱动件驱动所述扫描单元在竖直方向上移动。
7.根据权利要求5所述的基板检测装置，其特征在于，所述扫描单元与所述水平支撑杆连接，所述扫描单元沿所述水平支撑杆的延伸方向滑动。
8.根据权利要求7所述的基板检测装置，其特征在于，所述水平支撑杆并排设置于所述平台的上方。
9.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述平台下方设置有传送带，所述传动带驱动所述基板沿着所述平台的延伸方向移动。
10.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括光源，所述光源设置于所述平台的上方。
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