[发明专利]基板检测装置

说明书

一种基板检测装置，包括扫描单元、控制系统以及光学测距单元，光学测距单元设置在扫描单元上，实时监测扫描单元与基板之间的第一距离值，并将第一距离值发送到控制系统，控制系统调节扫描单元的高度以使得第一距离值与控制系统中的设定值相同。通过设置光学测距单元，实时监测和调整扫描单元与基板之间的距离，进而使得两者之间的距离保持为固定值，不会因基板的平整度变化或硬件磨损老化而导致相机的扫图模糊，进而避免了基板缺陷漏检的问题，且可延迟检测设备的校正周期。

技术领域

本发明涉及显示面板制造技术领域，尤其涉及一种基板检测装置。

背景技术

薄膜晶体管液晶显示器的玻璃基板在经过复杂的工艺流程制造后，基板上的线路容易形成断路和短路现象，检测出基板上线路的断路和短路并进行维修可提高产品的良率，加快设备的检测速度和减少设备的硬件结构都可以达到提高检测效率和节约成本的目的。

在整条工艺链中将产生不同类型的缺陷，缺陷基本都是微米级别，作业人员无法通过肉眼直接察觉。自动光学检查机(Automated Optical Inspection，AOI)能够捕捉到缺陷的位置，并将拍摄的图片中的缺陷进行放大，提供清晰画面至电脑显示屏供作业人员查看确认。

在AOI设备进行缺陷扫描过程中，玻璃基板表面的平整度对检查的效果有着极大的影响，整个检查过程中玻璃基板在气浮平台上处于沿着扫描方向运动的状态，基板在气浮平台上无法保证水平，会存在一定的波动，导致基板表面的平整度起伏较大，然而扫描相机与基板之间的距离是固定值，会出现灰阶图不清晰的现象，容易造成部分缺陷漏检的情况发生，最终影响到检查结果。

发明内容

本发明提供一种基板检测装置，以解决现有的基板检测装置，由于基板在气浮平台上运动，不能时刻保持水平状态，导致基板表面的平整度起伏较大，进而导致扫描相机与基板之间的距离发生变化，导致扫描相机拍摄的图片出现灰阶图不清晰的现象，容易造成部分缺陷漏检的情况发生，进而影响显示的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种基板检测装置，包括：用以承载基板的平台、多个扫描单元、控制系统、以及光学测距单元；所述控制系统与所述扫描单元连接，所述光学测距单元设置于所述扫描单元上，所述光学测距单元用以实时监测所述扫描单元与所述基板之间的第一距离值；其中，所述光学测距单元与所述控制系统连接，所述光学测距单元将所述第一距离值发送到所述控制系统，所述控制系统通过调节所述扫描单元的高度以使得所述第一距离值与所述控制系统中的设定值相同。

在本发明的至少一种实施例中，所述光学测距单元与所述扫描单元固定连接，所述光学测距单元与所述扫描单元一起移动。

在本发明的至少一种实施例中，所述基板检测装置，其特征在于，所述基板检测装置还包括支撑机构，所述扫描单元设置于所述支撑机构上。

在本发明的至少一种实施例中，所述支撑机构与所述控制系统连接，所述支撑机构在竖直方向上移动。

在本发明的至少一种实施例中，所述支撑机构包括水平支撑杆和竖直支撑杆，所述水平支撑杆与所述竖直支撑杆连接。

在本发明的至少一种实施例中，所述竖直支撑杆上设置有与所述控制系统连接的驱动件，所述驱动件驱动所述扫描单元在竖直方向上移动。

在本发明的至少一种实施例中，所述扫描单元与所述水平支撑杆连接，所述扫描单元沿所述水平支撑杆的延伸方向滑动。

在本发明的至少一种实施例中，多个所述水平支撑杆并排设置于所述平台的上方。

在本发明的至少一种实施例中，所述平台下方设置有传送带，所述传动带驱动所述基板沿着所述平台的延伸方向移动。

在本发明的至少一种实施例中，所述基板检测装置还包括光源，所述光源设置于所述平台的上方。