[发明专利]一种用于芯片的全自动清洗装置及其清洗工艺

摘要

本发明涉及一种用于芯片的全自动清洗装置及其清洗工艺，属于芯片清洗设备技术领域，包括铝合金支架、控制箱、电源装置，所述支架上设有清洗腔，所述清洗腔内设有工作台、旋转装置、锁扣装置、第一摆臂装置和第二摆臂装置，在物料到达工作台被锁紧后，通过第一摆臂装置的药液喷淋浸泡以及自动刷洗，第二摆臂装置的自动清洗以及干燥，同时，针对不同程度的沾污可以设置不同的清洗液以及清洗的时间，能够进一步提升清洗效果，并且全程采用全自动操作，同时设置多个清洗腔进行工作，有效提高了工作效率，降低了用工成本。

主权项

1.一种用于芯片的全自动清洗装置，包括有铝合金支架，所述铝合金支架上设有报警装置、传感器、一控制箱以及与该控制箱连接的一电源装置，所述控制箱的表面设有一控制面板，其特征在于：所述支架上还设有物料盒、用以传送物料的平台传送机构，所述平台传送机构连接有至少一个清洗腔传送机构，所述清洗腔传送机构的下方连接有清洗腔；所述清洗腔的上方设有工作台，所述工作台的下方设有若干个用以提供真空环境的真空发生器，所述工作台的下方固定连接有旋转装置，所述工作台的台面周围设有锁扣装置，所述清洗腔内还设有用以喷液刷洗的第一摆臂装置以及用以清洗和吹干的第二摆臂装置，所述清洗腔内还设有排水口、排风孔以及物料传出机构；所述旋转装置、锁扣装置、真空发生器、第一摆臂装置和第二摆臂装置均与所述控制箱电连接。