[发明专利]半导体晶片、半导体芯片和制造半导体晶片的方法在审

专利信息
申请号: 201910307649.0 申请日: 2019-04-17
公开(公告)号: CN110391202A 公开(公告)日: 2019-10-29
发明(设计)人: O.布兰克 申请(专利权)人: 英飞凌科技奥地利有限公司
主分类号: H01L23/488 分类号: H01L23/488;H01L21/48
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 刘茜璐;申屠伟进
地址: 奥地利*** 国省代码: 奥地利;AT
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摘要: 发明涉及半导体晶片、半导体芯片和制造半导体晶片的方法。在实施例中,提供了一种半导体晶片,其包括多个组件位置,其中划线区域定位在组件位置邻近和之间中的至少一个。组件位置包括有源器件结构。至少一个辅助结构位于划线区域中的一个或多个中。辅助结构电耦合到包括钨的辅助接触焊盘。
搜索关键词: 半导体晶片 组件位置 半导体芯片 辅助结构 划线区域 接触焊盘 电耦合 源器件 制造 邻近
【主权项】:
1.一种半导体晶片,包括:多个组件位置,其中划线区域定位在组件位置邻近和之间中的至少一个,组件位置包括有源器件结构,至少一个辅助结构,位于所述划线区域中的一个或多个中,其中所述辅助结构电耦合到包括钨的辅助接触焊盘,其中所述辅助接触焊盘包括暴露的钨表面。
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