[发明专利]一种电阻法碳化硅长晶设备

摘要

本发明公开了一种电阻法碳化硅长晶设备，包括支撑架，所述支撑架的内部通过螺栓固定安装有工作台，且工作台的底端外表面靠近前端位置通过合页互动安装有柜门，柜门的前端外表面通过螺栓固定安装有把手，所述支撑架的前端外表面固定安装有导线管。本发明所述的一种电阻法碳化硅长晶设备，在每个分水管上均安装调节阀、流量表、压力表与温度表，并通过导线与控制器连接，能够实时的检测各个分水管的内部情况，便于及时的调整，通过将原有的加热方式改成螺旋石墨电阻片，在螺旋石墨电阻片通电时，由于螺旋石墨电阻片为螺旋状，在受到自身的磁场影响时径向涡流无法积累，因此不易变形，径向温度相对稳定，便于控制晶体所需的温度。

主权项

1.一种电阻法碳化硅长晶设备，包括支撑架（1），其特征在于：所述支撑架（1）的内部通过螺栓固定安装有工作台（2），且工作台（2）的底端外表面靠近前端位置通过合页互动安装有柜门，柜门的前端外表面通过螺栓固定安装有把手，所述支撑架（1）的前端外表面固定安装有导线管，导线管远离支撑架（1）的一端固定安装有控制器（3），所述工作台（2）的顶端外表面靠近一侧位置焊接有罐体，罐体的内部有腔体槽（4），且腔体槽（4）的内表面粘接有石墨层（5），所述腔体槽（4）的内部中心处设有坩埚发生器（6），且坩埚发生器（6）的内表面靠近顶端位置固定安装有生长槽与籽晶适配器（7），罐体的顶端外表面设有密封盖，密封盖的底端外表面中心处与坩埚发生器（6）之间固定安装有石墨电阻加热器（8），所述工作台（2）的底端外表面与罐体之间连接有调节腔体（9），所述工作台（2）的底端外表面靠近调节腔体（9）的位置通过螺栓固定安装有升降电机（10），所述工作台（2）的底端设有水路系统（11）与UPS控制箱（14），且UPS控制箱（14）位于水路系统（11）的一侧，所述工作台（2）的顶端外表面远离罐体的一侧固定安装有电源（13），所述工作台（2）的顶端外表面靠近罐体的位置设有温控监测器（12）。