[发明专利]一种高纯度高硼硅粉的制取方法在审
申请号: | 201910273114.6 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN109896525A | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 孙坤泽;史兰庆;吴章荣 | 申请(专利权)人: | 新疆中诚硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02;C01B35/02 |
代理公司: | 厦门市宽信知识产权代理有限公司 35246 | 代理人: | 巫丽青 |
地址: | 831300 新疆维吾尔自治区五*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明公开了一种高纯度高硼硅粉的制取方法,通过将高纯度单质硅和硼化合物或者单质机械混合进行高温熔炼后,进行渣金分离,再对合金进行磨粉、酸洗,酸洗后进行固液分离,去除大部分磷,钙,铝,铁,制得高纯度的硼硅粉。本发明方法通过调整硅硼合金的配比,使硅粉中含有0.01%‑0.5%的硼,在靶材的制作过程中,可以有效的控制靶材的电阻率,流程简洁高效,易产业化。 | ||
搜索关键词: | 高纯度 高硼硅 靶材 酸洗 制取 高温熔炼 固液分离 硅硼合金 机械混合 硼化合物 渣金分离 制作过程 产业化 单质硅 电阻率 单质 硅粉 磨粉 配比 硼硅 去除 合金 | ||
【主权项】:
1.一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,包括以下步骤:1)合金制取:开启中频感应电炉,预先把高纯度单质硅和硼化合物或者单质机械混合均匀后加入电炉,加热熔化,硅硼全部熔化后,保持温度在1500‑1750度下熔炼1‑3小时,除去上部的硅渣,倒入地模冷却,冷却后,得到高纯度的硅硼合金;2)磨粉:将分选出来的合金块破碎磨粉;3)酸洗提纯:在合金粉中加入配置好的混合溶液,搅拌反应完成后,使用高纯水进行清洗后烘干包装。
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