[发明专利]一种高纯度高硼硅粉的制取方法在审
申请号: | 201910273114.6 | 申请日: | 2019-04-04 |
公开(公告)号: | CN109896525A | 公开(公告)日: | 2019-06-18 |
发明(设计)人: | 孙坤泽;史兰庆;吴章荣 | 申请(专利权)人: | 新疆中诚硅材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/02 | 分类号: | C01B33/02;C01B35/02 |
代理公司: | 厦门市宽信知识产权代理有限公司 35246 | 代理人: | 巫丽青 |
地址: | 831300 新疆维吾尔自治区五*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 高纯度 高硼硅 靶材 酸洗 制取 高温熔炼 固液分离 硅硼合金 机械混合 硼化合物 渣金分离 制作过程 产业化 单质硅 电阻率 单质 硅粉 磨粉 配比 硼硅 去除 合金 | ||
1.一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)合金制取:开启中频感应电炉,预先把高纯度单质硅和硼化合物或者单质机械混合均匀后加入电炉,加热熔化,硅硼全部熔化后,保持温度在1500-1750度下熔炼1-3小时,除去上部的硅渣,倒入地模冷却,冷却后,得到高纯度的硅硼合金;
2)磨粉:将分选出来的合金块破碎磨粉;
3)酸洗提纯:在合金粉中加入配置好的混合溶液,搅拌反应完成后,使用高纯水进行清洗后烘干包装。
2.根据权利要求1所述一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,所述步骤1)中,所采用的原料为硅粉或者硅块,纯度99.9%以上;硼化合物为碳化硼或氧化硼或硼砂。
3.根据权利要求1或2所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,所述步骤1)中,硼化合物或者单质,加入量为硼在合金中的含量为0.01-0.5%之间。
4.根据权利要求1或2所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,所述步骤2)中,所述磨粉粒度为80目-325目之间。
5.根据权利要求4所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,合金粉粒度大于80目的不超过1%,小于325目不大于5%。
6.根据权利要求1或2所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,所述步骤3)中,加入的混合溶液为HNO3-HF-HC l的混合溶液,其中HNO3的浓度为1-20%,HF浓度为1-20%,HC l浓度为1-30%。
7.根据权利要求6所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,步骤3)中,固液比为1:1-1:5。
8.根据权利要求7所述的一种高纯度高硼硅粉的制取方法,其特征在于,步骤3)中,搅拌反应时间为1-10小时。
9.一种高纯度高硼硅粉,其特征在于由权利要求1或2或7或8所述制取方法制得。
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