[发明专利]多重蓝宝石单晶生长装置及生长方法

摘要

本发明涉及到多重蓝宝石单晶生长装置及生长方法，具体讲，为实现多个晶体同时生长，将布置多只坩埚的生长炉内部温度保持均匀，并为生产优质结晶而使用多重分体发热体的温度传感器，并有效布置温度调节器及电力控制装置的有关蓝宝石单晶生长装置及利用此装置的多个蓝宝石单晶生长方法。根据本发明的蓝宝石单晶生长装置，多只坩埚位于多重分体发热体内，灵活控制向各发热体施加的电力以确保炉内温度的均匀性，不仅在坩埚内，各坩埚之间的温度也可保持均匀，其质量均匀优秀，可同时生长多个具有均匀形状的晶体，相比以往的方法可以大量节约成本。

主权项

1.一种多重蓝宝石单晶生长装置，其特征在于，包括：为保证加热后的内部温度上升至蓝宝石原料的高纯度氧化铝的熔融温度以上，从周围被保温体隔热的生长炉；位于所述生长炉内部，且所述蓝宝石原料被熔融的同时从籽晶生长单晶的多只坩埚；用于熔融所述蓝宝石原料而在所述坩埚外部安装的多重分体发热体；以及，为防止所述籽晶完全熔融而形成上下温度梯度，在所述坩埚的底部安装的冷却机构；在上述蓝宝石单晶生长装置中，为保证所述生长炉内部精确温度控制和保持单一方向长形所述生长炉内部温度均匀，在布置多重分体所述发热体后，使用单一温度传感器及温度调节器，并与多重分体所述发热体一对一对应的电力控制装置连接后进行控制。