[发明专利]一种碱性玻璃基板清洗液组合物在审
| 申请号： | 201910261609.7 | 申请日： | 2019-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111763573A | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 刘江华;王建荣;潘阳;张建;贾亚军 | 申请（专利权）人： | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/00 | 分类号： | C11D1/00;C11D3/60;C11D3/04;C11D3/08;C11D3/10;C11D3/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种碱性玻璃基板清洗液组合物，组合物为：1.强碱性物质，2.螯合剂，3.分散剂，4.腐蚀抑制剂，5.高纯水，包括以下百分比质量的组分：强碱性物质1‑45%，优选3‑30%，螯合剂0.1‑50%，优选0.5‑20%，分散剂0.1‑25，优选0.2‑20%，腐蚀抑制剂0.1‑15%，优选0.2‑10%，去离子水30‑99.9%，优选40‑98%；本发明的碱性玻璃基板清洗液组合物无毒无腐蚀性，无低沸点有机挥发物，对环境无污染，在有效去除表面基板表面残渣的同时不腐蚀玻璃基底。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碱性 玻璃 清洗 组合 | ||
【主权项】：
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