[发明专利]一种碱性玻璃基板清洗液组合物在审
申请号: | 201910261609.7 | 申请日: | 2019-04-02 |
公开(公告)号: | CN111763573A | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 刘江华;王建荣;潘阳;张建;贾亚军 | 申请(专利权)人: | 昆山欣谷微电子材料有限公司 |
主分类号: | C11D1/00 | 分类号: | C11D1/00;C11D3/60;C11D3/04;C11D3/08;C11D3/10;C11D3/30 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 碱性 玻璃 清洗 组合 | ||
1.一种碱性玻璃基板清洗液组合物,其特征在于:组合物为:1. 强碱性物质,2. 螯合剂,3. 分散剂,4. 腐蚀抑制剂,5. 高纯水,包括以下百分比质量的组分,
强碱性物质1-45%,优选3-30%;
螯合剂0.1-50%,优选0.5-20%;
分散剂0.1-25,优选0.2-20%;
腐蚀抑制剂0.1-15%,优选0.2-10%;
去离子水30-99.9%,优选40-98%。
2.根据权利要求 1 所述的一种碱性玻璃基板清洗液组合物,其特征在于:所述强碱性物质选自无机强碱性物质和/或有机强碱性物质,其中无机强碱性物质较佳的为氢氧化钾(KOH),氢氧化钠(NaOH),氢氧化锂(LiOH),碳酸钠(Na2CO3),碳酸钾(K2CO3),碳酸氢钠(NaHCO3),硅酸钠(Na2SiO3)等中的一种或几种;有机强碱性物质较佳的为四甲基氢氧化铵、羟乙基三甲基氢氧化铵,四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。
3.根据权利要求 1 所述的一种碱性玻璃基板清洗液组合物,其特征在于:所述螯合剂选自有机羧酸类、有机胺类和/或氨基羧酸类;有机羧酸较佳的为葡萄糖酸、酒石酸、羧甲基酒石酸、柠檬酸、马来酸、琥珀酸、羧甲基氧化琥珀酸、1,2,3,4-环戊烷四羧酸等;有机胺类较佳的为二乙胺、二丙胺、二异丙胺、二丁胺、二异丁胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、二甲基乙胺、甲基二乙胺、甲基二丙胺、胆碱、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、一丙醇胺、一异丙醇胺,2-氨基乙醇,2-(乙基氨基)乙醇,2-(甲基氨基)乙醇,N-甲基二乙醇胺,N,N 一二甲基乙醇胺,N,N-二乙基氨基乙醇,2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇,1-氨基-2-丙醇,2-氨基-1-丙醇,3-氨基-1-丙醇,4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺、(丁氧基甲基)二乙胺、(甲氧基甲基)二乙胺、(甲氧基甲基)二甲胺、(丁氧基甲基)二甲胺、(异丁氧基甲基)二甲胺、(甲氧基甲基)二乙醇胺、(羟基乙基氧甲基)二乙胺、甲基甲氧基甲基)氨基乙烷、甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇、甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇,2-(2-氨基乙氧基)乙醇,1-(2-羟基乙基)哌嗪,1-(2-氨基乙基)哌嗪,1-(2-羟基乙基)甲基哌嗪,N-(3-氨基丙基)吗啉,2-甲基哌嗪,1-甲基哌嗪,1-氨基-4-甲基哌嗪,1-苄基哌嗪,1-苯基哌嗪等;氨基羧酸类较佳的为环保型的N,N-二羧酸氨基-2-羧基丙烷基磺酸、3-羟基-2,2-亚氨基二琥珀酸四酸(HIDS)、甲基甘氨酸二乙酸 (MGDA)、氨三乙酸 (NTA)、谷氨酸 -N,N-二乙酸 (GLDA)、羟乙基乙二胺三乙酸(HEEDTA)、乙二胺二富马酸 (EDDF)、乙二胺二苹果酸(EDDM)、乙二胺二酒石酸 (EDDT)、乙二胺二琥珀酸 (EDDS)、天冬氨酸 -N,N- 二乙酸(ASDA)、羟基乙二胺四乙酸 (HEDTA)、亚氨基二琥珀酸 (IDS)、乙二胺四乙酸 (EDTA)、亚氨基二富马酸 (IDF)、亚氨基二酒石酸(IDT)、亚氨基二马来酸 (IDMAL)、亚氨基二苹果酸 (IDM)、乙二胺二马来酸 (EDDMAL)、二亚乙基三胺五乙酸(DTPA)、天冬氨酸二乙氧基琥珀酸 (AES)、它们的盐及其组合;螯合剂可选自上述螯合剂其中的一种或几种。
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