[发明专利]一种微机电陀螺仪在审
| 申请号： | 201910157140.2 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109696163A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张彪;王志灵 | 申请（专利权）人： | 成都因赛泰科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 薛波 |
| 地址： | 610041 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电陀螺仪，包括基底层、检测质量块层和包覆层，基底层包括基底，检测质量块层包括检测质量块、可形变梁和柱，检测质量块通过可形变梁和柱悬浮在基底上方，包覆层包括覆盖层，检测质量块设置在腔室内，腔室包括第一腔室和第二腔室，检测质量块与基底之间为第一腔室，检测质量块与覆盖层之间为第二腔室，第一腔室与第二腔室连通，第一腔室与第二腔室内的气压低于大气压。该陀螺仪检测质量块设置在腔室内，腔室包括第一腔室和第二腔室，第一腔室与第二腔室内的气压低于大气压，陀螺仪检测质量块在检测角速度时，振动是阻力系数较小，使得品质因子提高，检测质量块在振动过程中损耗的振动能量较少，陀螺仪测量结果更精准。 | ||
| 搜索关键词： | 质量块 检测 第一腔室 第二腔室 陀螺仪 基底 室内 微机电陀螺仪 包覆层 覆盖层 基底层 形变梁 腔室 气压 品质因子 振动过程 振动能量 阻力系数 连通 悬浮 | ||
【主权项】：
1.一种微机电陀螺仪，包括基底层(124)和检测质量块层(122)，所述的基底层(124)包括基底(114)，所述的检测质量块层(122)包括检测质量块(100)、可形变梁(102)和柱(104)，检测质量块(100)通过可形变梁(102)和柱(104)悬浮在基底(114)上方，其特征在于：所述的陀螺仪还包括包覆层(120)，包覆层(120)包括覆盖层(112)，所述的检测质量块(100)设置在腔室内，所述的腔室包括第一腔室(130)和第二腔室(128)，所述的检测质量块(100)与基底(114)之间为第一腔室(130)，所述的检测质量块(100)与覆盖层(112)之间为第二腔室(128)，第一腔室(130)与第二腔室(128)连通，第一腔室(130)与第二腔室(128)内的气压低于大气压。
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