[发明专利]一种微机电陀螺仪在审
| 申请号： | 201910157140.2 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN109696163A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张彪;王志灵 | 申请（专利权）人： | 成都因赛泰科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 薛波 |
| 地址： | 610041 四川省成都市*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质量块 检测 第一腔室 第二腔室 陀螺仪 基底 室内 微机电陀螺仪 包覆层 覆盖层 基底层 形变梁 腔室 气压 品质因子 振动过程 振动能量 阻力系数 连通 悬浮 | ||
1.一种微机电陀螺仪，包括基底层(124)和检测质量块层(122)，所述的基底层(124)包括基底(114)，所述的检测质量块层(122)包括检测质量块(100)、可形变梁(102)和柱(104)，检测质量块(100)通过可形变梁(102)和柱(104)悬浮在基底(114)上方，其特征在于：所述的陀螺仪还包括包覆层(120)，包覆层(120)包括覆盖层(112)，所述的检测质量块(100)设置在腔室内，所述的腔室包括第一腔室(130)和第二腔室(128)，所述的检测质量块(100)与基底(114)之间为第一腔室(130)，所述的检测质量块(100)与覆盖层(112)之间为第二腔室(128)，第一腔室(130)与第二腔室(128)连通，第一腔室(130)与第二腔室(128)内的气压低于大气压。
2.根据权利要求1所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的检测质量块(100)固定在可形变梁(102)上，可形变梁(102)固定在柱(104)上，柱(104)固定安装在基底(114)上。
3.根据权利要求2所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的检测质量块层(122)还包括锚(108)，所述的可形变梁(102)固定在锚(108)上，锚(108)固定在柱(104)的顶端。
4.根据权利要求3所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的柱(104)包覆第一腔室(130)并密封的固定连接在基底(114)上，检测质量块(100)、可形变梁(102)、锚(108)、柱(104)和基底(114)之间为第一腔室(130)。
5.根据权利要求3所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的包覆层(120)还包括墙(110)，所述的覆盖层(112)固定在墙(110)顶端，墙(110)的底端固定连接在锚(108)上。
6.根据权利要求5所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的墙(110)包裹第二腔室(128)，且墙(110)密封的固定连接在锚(108)上。
7.根据权利要求1所述的一种微机电陀螺仪，其特征在于：所述的第一腔室(130)和第二腔室(128)的气压小于等于500mToor。
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