[发明专利]检测用于晶圆划片的激光光束的质量的方法和装置在审
| 申请号： | 201910116772.4 | 申请日： | 2019-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN109822231A | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 杨波;戴杨 | 申请（专利权）人： | 英特尔产品（成都）有限公司;英特尔公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本公开描述了检测用于晶圆划片的激光光束的质量的方法和装置。根据本公开的一个方面，一种检测用于晶圆划片的激光光束的质量的方法包括：对采集到的包含所述激光光束照射在晶圆上形成的斑痕形状的图像进行预处理；检测经预处理的图像中的斑痕形状，获得与所述斑痕形状相关联的属性信息；以及基于所获得的与所述斑痕形状相关联的属性信息，判断所述斑痕形状是否符合预定义的标准。 | ||
| 搜索关键词： | 斑痕 晶圆 激光光束 划片 预处理 方法和装置 属性信息 检测 激光光束照射 关联 图像 预定义 种检测 采集 | ||
【主权项】：
1.一种检测用于晶圆划片的激光光束的质量的方法，包括：对采集到的包含所述激光光束照射在晶圆上形成的斑痕形状的图像进行预处理；检测经预处理的图像中的斑痕形状，获得与所述斑痕形状相关联的属性信息；以及基于所获得的与所述斑痕形状相关联的属性信息，判断所述斑痕形状是否符合预定义的标准。
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